РАГС - РОССИЙСКИЙ АРХИВ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СТАНДАРТОВ,
а также строительных норм и правил (СНиП)
и образцов юридических документов







ГОСТ Р 8.640-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Обозначение:ГОСТ Р 8.640-2008
Статус:действующий
Тип:ГОСТ Р
Название русское:Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название английское:State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата актуализации текста:06.04.2015
Дата актуализации описания:01.07.2023
Дата регистрации:00.00.0000
Дата издания:15.05.2008
Дата введения в действие:01.01.2009
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Расположен в:
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 1
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 2
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 3
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 4
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 5
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 6
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 7
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 8
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 9
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 10
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 11
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 12
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 13
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 14
ГОСТ Р 8.640-2008. Страница 15

Вернуться в "Каталог государственных стандартов" (ГОСТ)