РАГС - РОССИЙСКИЙ АРХИВ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СТАНДАРТОВ, а также строительных норм и правил (СНиП)
и образцов юридических документов
Произвольная ссылка:
ГОСТ 8.591-2009
ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
Статус:
действующий (Введен впервые)
Обозначение:
ГОСТ 8.591-2009
Название русское:
ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
Дата актуализации текста:
17.06.2011
Дата добавления в базу:
17.06.2011
Дата введения:
2010-11-01
Разработан в:
ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" МФТИ (ГУ) ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт"
Утверждён в:
Ростехрегулирование (05.04.2010)
Опубликован в:
Стандартинформ № 2010
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м.
Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер.
Оглавление:
1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Операции и средства поверки 5 Требования к квалификации поверителей 6 Требования безопасности 7 Условия поверки и подготовка к ней 8 Проведение поверки 9 Обработка результатов измерений 10 Оформление результатов поверки Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления воздуха Библиография
Ключевые слова:
методика поверки сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов лазерный интерферометр