Для отображения списка документов выберите категорию из классификатора каталога ГОСТов.
Чтобы отобразить подкатегории классификатора, кликните по иконке со знаком плюс
и дождитесь подгрузки подкатегорий в нижней части экрана.
Если наименование ГОСТа заранее известно, можете воспользоваться формой поиска ниже. Полный перечень ГОСТ в базе (алфавитный порядок)
Англ. название: Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
Англ. название: Vacuum equipment. Direct and angle vacuum valves. Mounting dimensions
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5
Англ. название: Vacuum equipment. Connections of vacuum pipe-lines. Mounting dimensions
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5
Англ. название: Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций
Нормативные ссылки: Утратил силу на территории РФ в части измерения критического давления на выходе, с 01.07.2011 действует ГОСТ Р 54108-2010ГОСТ Р 54108-2010ГОСТ 5197-85;ГОСТ 26790-85;СТ СЭВ 3407-81
Англ. название: Vacuum equipment. Mechanical vacuum pumps. Test methods
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия
Нормативные ссылки: ГОСТ 32974.2-2023Утратил силу на территории РФ в части измерения предельного остаточного давления, с 01.07.2011 действует ГОСТ Р 54107-2010СТ СЭВ 3409-81ГОСТ Р 54107-2010ГОСТ 5197-85;ГОСТ 26790-85
Англ. название: Reciprocating vacuum pumps. Types and basic parameters
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные поршневые насосы с водяным охлаждением, предназначенные для откачки воздуха охлаждением, предназначенные для откачки воздуха и неагрессивных газов, предварительно очищенных от капельной влаги и механических примесей
Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum pump performance. Part 1. General description
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных метода определения быстроты действия, степени сжатия, измерения базового и наибольшего выпускного давлений
Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 1. General description
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных метода определения быстроты действия, по одному методу измерения базового давления, степени сжатия и наибольшего выпускного давления
Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 2. Positive displacement vacuum pumps
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы объемного действия и устанавливает методы измерения быстроты действия, базового давления, наибольшего давления паров воды, потребляемой мощности и минимальной температуры запуска насосов, которые осуществляют выхлоп газа при атмосферном давлении, с базовым давлением менее 10 кПа. В настоящем стандарте необходимо использовать определения быстроты действия и базового давления, приведенные в ГОСТ 32974.1. Настоящий стандарт применяют при проведении испытаний других типов насосов, осуществляющих выхлоп газа при атмосферном давлении
Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum pump performance. Part 3. Specific parameters for mechanical booster vacuum pumps
Область применения: Настоящий стандарт устанавливает методы и требования для измерения максимально допустимого перепада давления, эффективной степени сжатия, степени сжатия при нулевой производительности и перепада давления в перепускном клапане механических бустерных вакуумных насосов. Требования настоящего стандарта распространяются на механические бустерные вакуумные насосы, используемые для среднего или низкого вакуума, включая механические бустерные вакуумные насосы с газовым охлаждением и системы с несколькими механическими бустерными вакуумными насосами
Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum pump performance. Part 4. Turbomolecular vacuum pumps
Область применения: Настоящий стандарт совместно с ГОСТ 32974.1 устанавливает методы измерения характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов, распространяется на все типы и размеры турбомолекулярных вакуумных насосов: - с механическими или магнитными подшипниками; - с или без дополнительной(ых) молекулярной(ых) ступени(ей) или других откачных ступеней на валу; - c одним или несколькими впускными отверстиями
Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 2. Positive displacement vacuum pumps
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия. Стандарт устанавливает требования к методикам измерений быстроты действия, базового давления, наибольшего давления паров воды, потребляемой мощности и минимальной температуры запуска насосов объемного действия, которые осуществляют выхлоп газа при атмосферном давлении, с предельным давлением обычно менее 10 кПа. В настоящем стандарте необходимо использовать определения быстроты действия и базового давления. Настоящий стандарт также применяется при проведении испытаний других типов насосов, выпускающих газ при атмосферном давлении
Область применения: Настоящий стандарт определяет методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных насосов. Он применяется для всех типоразмеров турбомолекулярных насосов с механическими или магнитными подшипниками; и с или без дополнительной молекулярной ступени
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на турбомолекулярные и молекулярные насосы и устанавливает метод измерения крутящего момента для быстрого выключения (разрушающего крутящего момента) насосов, в которых газовый импульс создается наклонными пластинами с осевым направлением потока и/или спиральными каналами