РАГС - РОССИЙСКИЙ АРХИВ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СТАНДАРТОВ,
а также строительных норм и правил (СНиП)
и образцов юридических документов










ГОСТ 25196-82

Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Обозначение:ГОСТ 25196-82
Статус:действующий
Тип:ГОСТ
Название русское:Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Название английское:Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Дата актуализации текста:06.04.2015
Дата актуализации описания:01.01.2021
Дата регистрации:00.00.0000
Дата издания:04.05.1982
Дата введения в действие:01.07.1983
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
Расположен в:
ГОСТ 25196-82. Страница 1
ГОСТ 25196-82. Страница 2
ГОСТ 25196-82. Страница 3

Вернуться в "Каталог государственных стандартов" (ГОСТ)