РАГС - РОССИЙСКИЙ АРХИВ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СТАНДАРТОВ,
а также строительных норм и правил (СНиП)
и образцов юридических документов




ГОСТ 5.2105-73

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Обозначение:ГОСТ 5.2105-73
Статус:действующий
Тип:ГОСТ
Название русское:Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название английское:Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста:06.04.2015
Дата актуализации описания:01.06.2019
Дата издания:04.10.1973
Дата введения в действие:31.08.1973
Дата последнего изменения:12.09.2018
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
Расположен в:
ГОСТ 5.2105-73. Страница 1
ГОСТ 5.2105-73. Страница 2
ГОСТ 5.2105-73. Страница 3
ГОСТ 5.2105-73. Страница 4
ГОСТ 5.2105-73. Страница 5
ГОСТ 5.2105-73. Страница 6
ГОСТ 5.2105-73. Страница 7
ГОСТ 5.2105-73. Страница 8
ГОСТ 5.2105-73. Страница 9
ГОСТ 5.2105-73. Страница 10
ГОСТ 5.2105-73. Страница 11
ГОСТ 5.2105-73. Страница 12
ГОСТ 5.2105-73. Страница 13

Вернуться в "Каталог государственных стандартов" (ГОСТ)