РАГС - РОССИЙСКИЙ АРХИВ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СТАНДАРТОВ,
а также строительных норм и правил (СНиП)
и образцов юридических документов







ГОСТ 8.592-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение:ГОСТ 8.592-2009
Статус:действующий
Тип:ГОСТ
Название русское:Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название английское:State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements
Дата актуализации текста:01.01.2021
Дата актуализации описания:01.07.2023
Дата регистрации:11.11.2009
Дата издания:06.12.2019
Дата введения в действие:01.11.2010
Область и условия применения:Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
Расположен в:
ГОСТ 8.592-2009. Страница 1
ГОСТ 8.592-2009. Страница 2
ГОСТ 8.592-2009. Страница 3
ГОСТ 8.592-2009. Страница 4
ГОСТ 8.592-2009. Страница 5
ГОСТ 8.592-2009. Страница 6
ГОСТ 8.592-2009. Страница 7
ГОСТ 8.592-2009. Страница 8
ГОСТ 8.592-2009. Страница 9
ГОСТ 8.592-2009. Страница 10
ГОСТ 8.592-2009. Страница 11

Вернуться в "Каталог государственных стандартов" (ГОСТ)