РАГС - РОССИЙСКИЙ АРХИВ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СТАНДАРТОВ,
а также строительных норм и правил (СНиП)
и образцов юридических документов







ГОСТ Р 8.628-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение:ГОСТ Р 8.628-2007
Статус:действующий
Тип:ГОСТ Р
Название русское:Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название английское:State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection
Дата актуализации текста:06.04.2015
Дата актуализации описания:01.07.2023
Дата регистрации:00.00.0000
Дата издания:10.02.2011
Дата введения в действие:01.02.2008
Область и условия применения:Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
Список изменений:№1 от (рег. ) «Срок действия продлен»
Расположен в:
Приложение №0:Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 1
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 2
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 3
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 4
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 5
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 6
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 7
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 8
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 9
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 10
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 11
ГОСТ Р 8.628-2007. Страница 12

Приложения к ГОСТу

Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007

Обозначение:Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007
Дата введения в действие:01.04.2011
Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007

Вернуться в "Каталог государственных стандартов" (ГОСТ)