РАГС - РОССИЙСКИЙ АРХИВ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СТАНДАРТОВ, а также строительных норм и правил (СНиП)
и образцов юридических документов
Произвольная ссылка:
ГОСТ Р 8.659-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Обозначение:
ГОСТ Р 8.659-2009
Статус:
действующий
Тип:
ГОСТ Р
Название русское:
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Название английское:
State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure
Дата актуализации текста:
01.01.2021
Дата актуализации описания:
01.07.2023
Дата регистрации:
00.00.0000
Дата издания:
12.08.2019
Дата введения в действие:
01.01.2011
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
