ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" МФТИ (ГУ) ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт"
Утверждён в:
Ростехрегулирование (05.04.2010)
Опубликован в:
Стандартинформ № 2010
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592.
Оглавление:
1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Операции и средства поверки 5 Требования к квалификации поверителей 6 Требования безопасности 7 Условия поверки и подготовка к ней 8 Проведение поверки 9 Обработка результатов измерений 10 Оформление результатов поверки
Ключевые слова:
длина методика поверки рельефные меры нанометрового диапазона растровые электронные микроскопы